銅合金蝕刻（kè）工藝要求

銅合金蝕刻工藝要求

(1)銅合金蝕刻工藝過（guò）程:預處理*防蝕層製作（zuò）一裝（zhuāng）掛一蝕（shí）刻*流動水洗（xǐ）*光化處（chù）理 — 自動水洗、檢查、防蝕層一幹（gàn）燥、下掛*檢查*包裝。

(2)主要工（gōng）序要求如下所述。

①預處理:按（àn）銅及合金預處理工藝規範(見2.3.3節（jiē）)進行。

②防蝕層製作:刻劃法按刻（kè）劃法工藝規範(見3.3.7節)進行;感光法按感光（guāng）法工藝規範 (見（jiàn）3.4.5節)進行;絲印法按絲印工藝規範(見3.5.4節（jiē）)進行;激光光刻法按激光（guāng）光刻工藝 規範(見4.2.5節)進（jìn）行。

③裝掛:根據蝕刻方法的（de）不同選擇合適的裝掛方式。裝掛（guà）時應牢固，保證工件不相互貼 合、碰撞。裝掛（guà）位置適當，盡量避免在化學處理時產生氣囊，保證蝕刻的均勻性（xìng）。如（rú）是采用傳 輸式蝕刻設備（bèi）進行蝕（shí）刻則（zé）不（bú）需要（yào）裝掛，但（dàn）要采用合適的工裝，防止在噴射時（shí）使工件移位而（ér）影響蝕刻的進行。

④蝕刻:純（chún）銅（tóng）堿性蝕刻按表（biǎo）4一16進行，銅及銅合（hé）金酸性蝕刻按表4一17進行。 對於垂（chuí）直蝕刻的工（gōng）件（jiàn）要定時將上下位置對換，在蝕刻過程（chéng）中要注意檢（jiǎn）查（chá）蝕刻深度的變化， 在蝕（shí）刻到深度的80%左（zuǒ）右時應取（qǔ）出工件測量深度，然（rán）後再確定（dìng）餘下的（de）蝕刻時間。對（duì）於深度不（bú） ，高的台（tái）階及圖文蝕刻可根據預先工藝（yì）試驗確（què）定的時間進行。

       對於垂直蝕刻的工件要定時將上下位（wèi）置對（duì）換，在蝕刻過程中要注意檢查蝕刻深度的變化， 在蝕刻到深度（dù）的80%左右時應取出工件測量深度（dù），然後再確定餘下（xià）的蝕刻時間。對於深度不 ，高（gāo）的台階及圖文蝕刻可根據預先工藝試驗確定（dìng）的時間進行。

⑤光化處理按表（biǎo）4一18進行。

⑥檢查:這（zhè）一步主要是檢查蝕刻深度、蝕刻表麵的效果是否符合工藝要求並同時檢查防 蝕層有無異常。

⑦退（tuì）除防蝕層:絲印、感光或激光光刻法製作的防蝕層可采用有機溶劑及5%氫氧化鈉溶 液進行清理;刻劃法製作的防蝕層可直接剝除，對於厚度不大（dà）的工件在剝除過程中（zhōng）應注意（yì）防止工件變形。

⑧幹燥（zào）:在（zài）60℃一80℃的（de）幹燥箱(室)內幹燥。

⑨卸掛:卸掛（guà）時應戴幹淨的細（xì）紗手套，在以後各工序，操作（zuò）人員都應戴幹淨的細紗手套。 ①檢查:按金（jīn）屬化學蝕刻驗收技術（shù）條件(見4.2.5節)執行（háng）。

(3)溶液配製與調整如下（xià）所述。 

   ①溶液的配製方法:略。②溶液（yè）成分的分析項目及分析周期見表4-19.

（4）輔助材料應符合下表規定