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掩膜夾具的質量保證有哪些?

作者: 編輯: 來源: 發布日期: 2018.07.27
信(xìn)息摘要:
掩膜夾具的質量保證有哪些?蝕刻掩膜版夾具質量的保證主要來自於蝕(shí)刻過程的控製,蝕刻掩膜版夾具過程的控製分為化(huà)學參數控(kòng)製和物理參數控製。    

掩膜夾具的(de)質量保證有哪些?蝕刻掩膜版夾具質量的保證主要來(lái)自於蝕刻過程的控製,蝕(shí)刻掩膜(mó)版夾具過程的控製分為化學參數控製和物理參數控製。    

1、化學參數控製

化(huà)學參數控製對於維持蝕刻液持久而(ér)均勻的蝕刻速度是非常關鍵的,化學參數控製主要包括溶液濃度的控製(zhì)和溶液中各組分之間的比例控製。對這兩方麵的控製,前者的濃(nóng)度控製容易,可以通(tōng)過(guò)分析的(de)方法就能確定溶液中成分的(de)消耗情(qíng)況。而對於後者控製難度要大一些,主要是因為(wéi)蝕刻液中的添加物(wù)質(zhì)含量較低,並且可能(néng)是(shì)一些較難分析的有機材料,或和蝕刻液中的主料(liào)分離較為困(kùn)難。

化學參數控製的依據來源(yuán)於對溶液成分的分(fèn)析而不(bú)是經驗的估計,當(dāng)然(rán)對於一些小廠並不排除(chú)操作者可以通(tōng)過(guò)觀察蝕刻過程進行的激烈程度、被蝕刻掩膜夾具的狀態以及溶液顏色(sè)的變化(huà)再根據經驗來進行(háng)調(diào)節,並滿足在一定(dìng)程度上的可(kě)控性。這種方式對於成分單一的蝕刻液具有一定的實用性,但對於成分組成複雜(zá)同時對蝕刻掩膜版夾(jiá)具均一性要求(qiú)較高(gāo)的產品,采用這種方法有很大的局限(xiàn)性,難於(yú)保證批量生產的需要。從保證產品質量穩定(dìng)的角度出發,要(yào)求蝕刻中能(néng)把分析結果作為調整蝕刻液的依據。

化(huà)學蝕刻(kè)溶液的分析(xī)周期主(zhǔ)要受以下幾方麵因素的影響:1、溶液(yè)體積;2、溶液的初始濃度;3、單(dān)位體積的負荷(hé)量;4、蝕刻量(以日為單位)。對這幾方麵的影響因素很容易理解,溶液體積小、溶液初(chū)始濃度低、單位體積的負荷量較大的情況下,蝕刻(kè)液成(chéng)分的(de)變(biàn)化(huà)速度就(jiù)快,其分析周期就較短,反之則長。通常而(ér)言,如果蝕刻溶液(yè)體積不大,批(pī)量生產的情況下應保持每個班次分析一(yī)次 。

掩膜夾具的質量保證有哪些?

2、物理參數控製

物理(lǐ)參數的控製分為(wéi)通用參數控製及蝕刻方(fāng)式(shì)所決定的其(qí)它參數控製。通用參數控製主要是對在蝕刻過程中的時間、溫度進行(háng)控(kòng)製;由蝕刻方式所決定(dìng)的其他參數控(kòng)製包括浸泡蝕刻的溶液攪拌程度的控製以及噴射蝕刻的噴射壓力的控製。在化學參數可控範圍內,物理參數的控製對於維持其蝕刻(kè)速度的恒定及蝕刻均勻性是非常重要的。物理參數(shù)的控製相對於化學(xué)參數的控製來說要容易的多,也直觀(guān)得多。同時,一(yī)些(xiē)設備對溫度、時間及噴射壓力都(dōu)有自控裝置,隻需要預先將這些參數輸入即可。

任何(hé)蝕刻掩膜夾(jiá)具都一(yī)定有兩個需要控製的指標,即深度和表麵平滑度。雖然物理因素和化學因素的變(biàn)化都會對(duì)蝕刻深度及(jí)表麵平(píng)滑(huá)度產生影響,但(dàn)在確定(dìng)的蝕刻(kè)液成分及(jí)濃(nóng)度的情況下,對深(shēn)度的影響主要是物(wù)理因素,在溫度、壓力(lì)恒定的前提下,確保蝕(shí)刻深度指標的因素是蝕刻時間,在(zài)實(shí)際生產中也是通過時間來對蝕刻深度進行有效控製。而對(duì)於表麵平滑度,雖然溫(wēn)度的變化會有(yǒu)一定的影(yǐng)響(xiǎng),但主要還(hái)是受蝕刻液的化學(xué)組分的影響,在化學中添加物質對表麵平滑度的影響比蝕刻主劑(jì)的影響(xiǎng)更(gèng)大,同(tóng)時調整也更困難,但可以通過實驗確定一個單位麵積消耗量的經驗值來控製。

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