卓力達

以品質(zhì)立足行業,以服(fú)務誠贏天下

不鏽鋼蝕刻工(gōng)藝規範

作者: 編(biān)輯: 來源: 發布日期: 2019.01.14
信息(xī)摘要:
本規範適(shì)用於不鏽鋼工件需要(yào)進行非結構的圖文、單台階及多台階化學蝕刻的加工生產,但不適用於宇航基本產品的生產加工。

                                                                                      不鏽鋼蝕刻工藝規範

(1)不鏽(xiù)鋼蝕刻工藝過程:預處理、防蝕層製作一裝掛-活化-蝕刻-流動水洗-光化處理-流動水洗-檢查-清理(lǐ)防蝕層-幹(gàn)燥-下掛-檢查-轉下工序(或包裝人庫)。

(2)主要工序要求如(rú)下所述。

①預處理:按不鏽鋼預處理工藝規範進行。

②防蝕層製作:刻劃法按刻劃法工藝規範進(jìn)行;感光法按感光法工藝規範進行(háng);絲印法按絲印工藝規範進行;激光光刻法按激光光刻工藝規範進行(háng)。

③裝掛:根據蝕刻方(fāng)法的不同選擇合適的裝掛方式。裝掛時應牢固,保(bǎo)證工件不相互貼合、碰撞。裝掛位置適當,盡量避免在化(huà)學處理時產生氣囊,保證蝕(shí)刻的均勻性。如是采用傳 輸式蝕(shí)刻設備進行蝕刻則不需要裝掛,但要采用合適(shì)的工裝,防止在噴射時使工件移位而影響蝕刻的進行。

④活化按表4一9進行。

4-9

⑤蝕刻:圖文蝕刻和(hé)噴淋式蝕刻按表4一(yī)10進行,浸泡蝕刻按表(biǎo)4一11進行。

4-10

4-11


      對於垂直蝕刻的工件要定時將上下位置對換,在蝕刻過(guò)程中要注意檢查蝕(shí)刻(kè)深度的(de)變化, 在蝕刻到深度的80%左右時(shí),應取出工件測量深度,然後再確定餘下的蝕刻時間。對(duì)於深度不高的台階及圖文蝕刻、可根據預(yù)先工藝試驗確定的時間進(jìn)行。 對多台階蝕刻要分(fèn)次進行(háng),對於深(shēn)度不大的圖形多台階蝕刻防蝕層製作推薦(jiàn)采用激(jī)光光刻法。防蝕層製(zhì)作采用多次蝕刻、多次光刻的方法進行。

⑥光(guāng)化處理按表4一12進行。

4-12


⑦檢(jiǎn)查:這一(yī)步主要是檢查蝕刻深度、蝕刻表麵(miàn)的效果是否符合(hé)工藝要求,並同時檢查防 蝕層有無異常。

⑧退除防蝕層:絲印、感光或激光光刻法製作(zuò)的防蝕層可采用有機溶劑,以及5%一10% 的氫氧化鈉溶(róng)液進行(háng)清理;刻劃法製作(zuò)的防蝕層可直接剝除,對(duì)於厚度不大的工件在剝除過程 中應注意防止工件變(biàn)形。

⑨幹燥:在60℃一80℃的(de)幹燥(zào)箱(室)內幹燥。

⑩卸掛:卸(xiè)掛時應戴幹淨的細(xì)紗手套(tào),在以後各工序(xù),操作(zuò)人員都應戴幹淨的細紗手套。 

(3)溶液配製與調整如下所述。

①溶液的(de)配製方法:略。

②溶(róng)液成分的分析項目及(jí)分析周期見表4一13.

4-13

(4)常見故障的產生原因及排除方法見表(biǎo)4-14



4-14


聯係羞羞网站

  • 座機: 0513-8160 1666
  • 電話: 189-3869-3452
  • 傳真:0513-81601333
  • 郵箱: yw5@zldsmt.com
  • 地址:江蘇省南通市通州(zhōu)區南通高新技術產業開發區金川路268號
网站地图 羞羞网站_羞羞影院_羞羞小视频_羞羞视频在线观看